300-5T单晶机组
单晶机组是由罗茨真空泵为主泵、螺杆真空泵为前级泵串联组成的无油真空机组,机组真空度高,工作压力范围宽,抽气效率高,机组整体箱式外包,且机组采用智能变频控制系统,起动快,能根据生产需求,实时调控机组性能,提高生产稳定性,满足客户的需求。机组所用真空泵均对少量粉尘不敏感,在含少量粉尘的应用场合,具有明显的优势;机组所用电机均为水冷电机,散热效果好,并可避免电机风扇扬尘,特别适用于光伏太阳能行业的单晶硅生产工艺,并能满足锂电、半导体等行业的生产需求。
主要性能参数 Performance Parameter:
机组型号 Model |
泵型号 Pump Model |
抽气 速率Pumping Speed (L/s) |
极限压力Ultimate Pressure (Pa) |
进气 口径Inlet Diam. (mm) |
排气 口径Outlet Diam. (mm) |
冷却水量 Cooling Water Consumption ( L/min ) |
质量 Weight (kg) |
电机功率 Motor Power(kW) |
||
主泵 Brief Pump |
前级泵 Backing Pump |
主泵 Brief Pump |
前级泵 Backing Pump |
|||||||
JZJLG300-5T |
ZJ400G |
LG50G |
400 |
0.1 |
145 |
40 |
6 |
650 |
4.5 |
4.5 |
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800-6T单晶机组
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单晶机组是由罗茨真空泵为主泵、螺杆真空泵为前级泵串联组成的无油真空机组,机组真空度高,工作压力范围宽,抽气效率高,机组整体箱式外包,且机组采用智能变频控制系统,起动快,能根据生产需求,实时调控机组性能,提高生产稳定性,满足客户的需求。机组所用真空泵均对少量粉尘不敏感,在含少量粉尘的应用场合,具有明显的优势;机组所用电机均为水冷电机,散热效果好,并可避免电机风扇扬尘,特别适用于光伏太阳能行业的单晶硅生产工艺,并能满足锂电、半导体等行业的生产需求。
主要性能参数 Performance Parameter:
机组型号 Model |
泵型号 Pump Model |
抽气 速率Pumping Speed (L/s) |
极限压力Ultimate Pressure (Pa) |
进气 口径Inlet Diam. (mm) |
排气 口径Outlet Diam. (mm) |
冷却水量 Cooling Water Consumption ( L/min ) |
质量 Weight (kg) |
电机功率 Motor Power(kW) |
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主泵 Brief Pump |
前级泵 Backing Pump |
主泵 Brief Pump |
前级泵 Backing Pump |
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JZJLG300-5T |
ZJ400G |
LG50G |
400 |
0.1 |
145 |
40 |
6 |
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4.5 |
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